ald1 원자 단위의 옷을 입다: 원자층 증착법 (ALD) 원자 단위의 얇은 옷을 입히는 기술, 원자층 증착법(atomic layer deposition, ALD)에 대해서 알아보겠습니다. 원자 한 층 정도로 얇게 코팅하는 기술이라고 생각하시면 됩니다. 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition, CVD)과 ALD ALD는 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition, CVD)의 한 종류입니다. CVD는 시체 상태의 화학 물질을 타겟 표면에 흩뿌려 얇은 막을 형성하는 기법인데요. 진공에서 이뤄지는 이 공정은 생각하시는 대로 정교하게 막을 형성시키기 쉽지 않습니다. ALD는 CVD와 달리 '자기 제한 (self-limited)' 반응을 합니다. 쉽게 말해서 표면에 층이 하나 깔리면 더이상 그 위에 쌓이지 않는다는 말이지요... 2024. 1. 8. 이전 1 다음
